“日新月异”系列№11303获奖教师代表路新春：在清华大学2024年教师节庆祝大会上的发言

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“日新月异”系列№11303

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2024 年 9 月

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标签： #教师节

摘要：

“日新月异”系列№11303扫描二维码关注“政论文”公众号扫描二维码关注“文名”公众号2024年9月在清华大学2024年教师节庆祝大会上的发言获奖教师代表路新春（2024年9月10日）尊敬的各位老师、同学们：大家好！我来自机械系，高端装备界面科学与技术全国重点科学实验室，很荣幸作为获奖代表发言，我发言的题目是“自立自强，持之以恒，服务国家重大需求”。我们团队的成果“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”荣获2023年国家技术发明一等奖，化学机械抛光是集成电路制造的五大关键技术之一，难度极高。早在2000年我们团队就开始了抛光原理和工艺的研究，得到了国家自然科学基金、973等项目支持，从2008年...

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